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照片化学蚀刻工艺流程

信息来源: 江阴市恒艺模具有限公司 | 发布日期: 2018-05-07 | 浏览量:
文章标签tags:蚀刻
  图稿/CAD:将客户提供的图纸或数据转换并输入到CAD系统,基于数据将^的图像激光绘制到感光膜或照相玻璃板上,绘制的图案被严格检查并传递到UV曝光过程。
  
  金属清洁:对金属进行脱脂和清洁以除去油污和污染物,以便与光敏抗蚀剂具有良好的粘附性。
  
  光刻胶涂层和层压:在洁净室中均匀涂抹UV光敏抗蚀剂膜。
  
  曝光:将涂有光敏抗蚀剂膜的金属夹在艺术品照相工具之间,然后从上下两面曝光UV光以将图像转印到抗蚀剂膜上,在洁净室内操作此过程以避免灰尘或异物。
  
  开发:化学去除非紫外线曝光区域的抗蚀膜。另外,抗蚀剂涂布区域被加热以提高耐酸性。
  
  蚀刻:在此过程中使用控制蚀刻剂和温度的自动蚀刻机,金属暴露区域被蚀刻掉,并且金属被形成为图中指定的所需形状。
  
  剥离:蚀刻后,所有残留在金属板上的抗蚀剂膜被去除,部件被纯净水清洗后传递到检测过程。
  
  检测:光刻部件预计非常准确,通过尺寸和外观检查来控制^佳质量。

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